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真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。

細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。

這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。


目前,真空技術是支撐航天、半導體、平板顯示、能源、醫藥、理化、分析、光學、汽車、食品等眾多行業的基礎技術,佐藤真空創業約 90 年來不斷改進生產真空泵、真空測量儀器和各種真空部件的組件技術,以及將其應用于所有真空設備組的技術。

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